[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-7] 超短パルスレーザー照射によるLIPSS形成

〇吉川 秀亮¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大院工)

キーワード：LIPSS、レーザー

我々はこれまでレーザーのパルス幅がフェムト秒及びナノ秒オーダーのときのLIPSS形成条件の検討と、形成されるLIPSSの結晶状態の評価を行ってきた。その結果、フェムト秒オーダーのパルス幅ではLIPSSは結晶質を維持しているのに対し、ナノ秒オーダーのパルス幅では一部多結晶化していた。本発表ではパルス幅がサブピコからピコ秒のレーザーがLIPSS形成に与える影響を調べた。