[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-9] パルス幅可変高出力レーザーによる表面改質のパラメータ依存

〇高橋 孝^1,2、谷 峻太郎¹、黒田 隆之助²、小林 洋平^1,2 (1.東大物性研、2.産総研オペランドOIL)

キーワード：表面改質、パルス幅依存性

ファイバーベースのパルス幅可変高出力レーザーの開発を行った。Tiに対して表面改質のパルス幅・スキャンスピード依存性を調べたところ、16ピコ秒を境に表面構造が大きく変化することを系統的に明らかにした。