[19a-PA2-1~26] 3.9 テラヘルツ全般

[19a-PA2-2] モスアイ型 THz 反射防止構造の断面形状制御

余 希¹、〇(D)田中 良樹¹、三瓶 和久²、滝沢 宣人²、糸魚川 文広¹、小野 晋吾¹ (1.名工大院、2.株式会社タマリ工業)

キーワード：テラヘルツ、反射防止構造、レーザー加工