[19a-PA3-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[19a-PA3-7] 傾いた鏡を有する微小光共振器のモード計算に関する検討

〇北川 雄真¹、鈴木 雄太¹、手塚 信一郎¹ (1.横河電機株式会社)

キーワード：微小光共振器、波長可変レーザー、VCSEL

我々はこれまでにMEMSとVCSELを組み合わせた広帯域な波長可変レーザーMEMS-VCSELを実現し，本光源の微小共振器の計算としてFox-Li法を応用した近軸近似のないRayleigh-Sommerfeld回折積分のモード計算を報告している。しかし従来の報告では共振器の鏡の傾きの影響は反映されていない．本発表では鏡の傾きを考慮した積分核を検討し，直接対角化法によりモード計算した結果を報告する．