[19a-PA4-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-PA4-9] テクスチャSi基板へのミストコート法によるZnO反射防止膜の形成に関する研究

菅野 貴史¹、佐々木 莉奈¹、渡邊 貴大¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹、河原 正美² (1.成蹊大院理工、2.高純度化学研究所)

キーワード：シリコン太陽電池、反射防止膜、酸化亜鉛膜

ZnOを反射防止膜材料として使用し、テクスチャSi基板上にミストコート法による成膜を試みた。