2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[19a-PA4-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

2019年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 PA4 (第一体育館)

09:30 〜 11:30

[19a-PA4-9] テクスチャSi基板へのミストコート法によるZnO反射防止膜の形成に関する研究

菅野 貴史1、佐々木 莉奈1、渡邊 貴大1、氷室 貴大1、〇齋藤 洋司1、河原 正美2 (1.成蹊大院理工、2.高純度化学研究所)

キーワード:シリコン太陽電池、反射防止膜、酸化亜鉛膜

ZnOを反射防止膜材料として使用し、テクスチャSi基板上にミストコート法による成膜を試みた。