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[19a-PB1-1] 第一原理計算によるMg,Nb共添加AlNの圧電特性評価
キーワード:圧電体、窒化物、第一原理計算
本研究では、Mg+Nb共添加AlNにおける圧電性向上機構の解明を目的とし、第一原理計算を用いて、MgxNbyAl1-x-yN (x/y = 1, 1.67, 2)における各物性値を調査した。これらの結果から、MgとNbの理想比Mg/Nb=2ではなくMg/Nb=1.67で圧電性が最大になること確認された。さらにMg/Nb比を変えたことによる圧電性向上は圧電応力定数e33が大きく寄与することが示唆された。