[19a-PB1-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-PB1-2] Mg+Me(Me=Cr,Mo,W)添加AlNにおける圧電定数の第一原理計算

〇平田 研二¹、山田 浩志¹、Anggraini Sri Ayu¹、上原 雅人¹、秋山 守人¹ (1.産総研)

キーワード：圧電体、第一原理計算、窒化アルミニウム

本研究では、Mg+Me (Me=Cr, Mo, W)添加AlNにおいて圧電定数を第一原理計算により調査した。Mg+Cr添加の場合、圧電定数はほとんど向上しなかったが、Mg+MoおよびMg+W添加では、添加量の増加に伴い顕著な圧電定数の向上が確認された。Mg+Mo添加AlNでは高濃度の組成域において、Sc添加AlNと同程度の圧電定数が得られることが示唆された。この圧電定数の上昇は圧電応力定数の向上と弾性定数の低下に起因しており、Sc添加AlNと同様の機構であることがわかった。