[19a-PB1-1~11] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[19a-PB1-3] XRD structural analysis for c-axis oriented Yb_xAl_1-xN piezoelectric thin films

〇Yuki Amano¹, Masato Uehara^1,2, Sri Ayu Anggraini², Kenji Hirata², Hiroshi Yamada^1,2, Morito Akiyama² (1.Kyushu Univ., 2.AIST)

Keywords:piezoelectric thin film, nitride, X-ray diffraction reciprocal space mapping

我々はこれまでにYbを添加したYb_xAl_1-xNにおいて、x=0.33で圧電定数d₃₃が約2倍に向上することを見出した。XRDによる構造解析を行ったが、作製した薄膜はc軸配向しているため、Out-of-PlaneやIn-Plane測定でも不明な点が多かった。本研究では、広域逆格子マップ測定を行い、詳細な結晶構造解析を行った。その結果、x=0～0.37では、ウルツ鉱型結晶であることが分かった。また、x=0.58では岩塩型結晶への相変化が示唆された。