[19a-PB1-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-PB1-3] c軸配向したYb_xAl_1-xN圧電薄膜のXRDによる結晶構造解析

〇天野 雄貴¹、上原 雅人^1,2、Anggraini Sri Ayu²、平田 研二²、山田 浩志^1,2、秋山 守人² (1.九大総理工、2.産総研)

キーワード：圧電薄膜、窒化物、広域逆格子マップ測定

我々はこれまでにYbを添加したYb_xAl_1-xNにおいて、x=0.33で圧電定数d₃₃が約2倍に向上することを見出した。XRDによる構造解析を行ったが、作製した薄膜はc軸配向しているため、Out-of-PlaneやIn-Plane測定でも不明な点が多かった。本研究では、広域逆格子マップ測定を行い、詳細な結晶構造解析を行った。その結果、x=0～0.37では、ウルツ鉱型結晶であることが分かった。また、x=0.58では岩塩型結晶への相変化が示唆された。