[19a-PB1-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-PB1-5] 静電気力顕微鏡によるZnOナノ粒子の比誘電率サイズ依存性と周波数依存性の測定

〇山本 達也¹、和泉 遼¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.阪大工)

キーワード：静電気力顕微鏡、ナノ粒子、誘電体

金属酸化物ナノ粒子の電気的特性を調べる上で、比誘電率は重要な要素の一つとなっている。静電気力顕微鏡(EFM)を用いることで、金属酸化物ナノ粒子の比誘電率を個々に測定することが期待できる。
本研究では、EFMを用いて、基板上に散布したZnOナノ粒子の比誘電率の測定を行い、比誘電率の粒子サイズ依存性と印加交流バイアスの周波数依存性を調べた。粒子のサイズが大きく、周波数が低いほど比誘電率は大きくなる傾向にあった。