[19p-B01-1~6] パワーエレクトロニクスと薄膜・表面技術〜省エネルギー社会に向けて〜

[19p-B01-3] 酸化ガリウムの結晶成長における結晶形の制御

〇藤田 静雄¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化ガリウム、コランダム、ミストCVD

酸化ガリウムは多くの結晶形をもち、目的の結晶形を実現するための知見は、学術的にも応用上も重要である。本講演では、コランダム構造を持つ α型酸化ガリウムを中心に、基板の結晶形、成長方法、成長機構等をもとに、結晶形の制御の物理・化学について議論する。