[19p-B12-1~10] 結晶シリコン太陽電池の現在地と未来

[19p-B12-2] ナノ表面粗さ制御によるウエハレベル太陽電池用Si膜の高速成膜

〇伊原 学¹ (1.東工大)

キーワード：太陽電池、シリコン、薄膜

本講演では、結晶欠陥密度をシリコン（Si）ウエハーレベルまで低減した高品質単結晶Si膜を、これまでの10倍以上の成長速度で作製でき、原理的に原料収率を100%近くに向上できる手法について紹介する。これによって単結晶Si太陽電池の発電効率の維持と製造コストの大幅な低減の両立が期待できる。また、ナノ表面荒さが結晶欠陥の形成に重要な影響を与えることを示すもので、結晶成長メカニズムとしても興味深い。