[19p-B12-1~10] 結晶シリコン太陽電池の現在地と未来

[19p-B12-6] 高効率結晶Si太陽電池のためのプロセス技術開発

〇大平 圭介¹、Nguyen Cong Thanh¹、Tu Huynh Thi Cam¹、松村 英樹¹ (1.北陸先端大)

キーワード：太陽電池、結晶シリコン

本講演では、ヘテロ接合バックコンタクト型(HBC)太陽電池の各製造工程への適用を目指した、北陸先端大での基盤技術開発に関し、(1)ガラス粒子を混入したアルカリ溶液を用いたテクスチャ形成とメタノール添加により濡れ性を制御したHF溶液による表面洗浄技術、(2)非質量分離型プラズマイオン注入によるドープ非晶質Si(a-Si)形成、(3)触媒化学気相堆積(Cat-CVD)で形成した薄膜による結晶Si表面のパッシベーション、の3つのテーマの研究成果について概説する。