[19p-B31-1~8] 薄膜表面・界面評価法の新展開

[19p-B31-1] 酸化物強誘電体の化学結合とエアロゾルデポジションの特徴

〇黒岩 芳弘¹ (1.広大院理)

キーワード：エアロゾルデポジション法、強誘電体、電子密度分布

ガラス基板上に製膜された酸化物強誘電体AD膜に対して放射光Ｘ線回折実験を行い，成膜の仕組みを原材料粉の化学結合の特徴から議論した結果を紹介する．