[19p-B31-1~8] New development of surface and interface evaluation methods for thin films

[19p-B31-7] The state and application of HR-RBS analysis

〇Tetsuya Kogita¹ (1.Kobelco Research Institute)

Keywords:Ion Beam Analysis, RBS, Surface Analysis

我々が HR-RBS 分析サービスを開始してからおよそ20 年が経過し、その間、半導体分野を中心
に国の内外、産学を問わず多くの方に利用されてきた。また現在もユーザー数は広がりつつある。
本講演ではそれらの経験の中から、HR-RBS 分析の現状と活用事例について報告する。