[19p-C207-1~17] 11.4 Analog applications and their related technologies

[19p-C207-15] Investigation of deposition conditions of NbTiN thin films for high performance of SSPD

〇(M2)Yuma Fujii^1,2, Humihiro China², Masahiro Yabuno², Hirotaka Terai², Isaku Kanno¹, Shigehito Miki^1,2 (1.Kobe Univ., 2.NICT)

Keywords:SSPD

超伝導単一光子検出器(SSPD)は，高計数率等を実現できる検出器として注目されている．我々は，窒化ニオブチタン(NbTiN)薄膜を用いたSSPDの研究開発を行ってきたが，従来のNbTiN薄膜の超伝導特性がSSPDに最適であるかは明らかにされていない．今回我々は，薄膜の特性がSSPDの動作特性に影響を及ぼすか探索するため，従来とは異なる条件で成膜された薄膜の超伝導特性の評価を行い，ナノワイヤ形成による光応答特性の評価を行ったので報告する．