17:15 〜 17:30 [19p-C207-15] SSPDの高性能化に向けたNbTiN薄膜の成膜条件の検討 〇(M2)藤井 勇磨1,2、知名 史博2、薮野 正裕2、寺井 弘高2、神野 伊策1、三木 茂人1,2 (1.神戸大工、2.情通機構)