[19p-C212-1~6] 先端的光学テクノロジーで拓ける有機エレクトロニクス

[19p-C212-4] 放射光軟X線オペランドナノ顕微分光によるデバイス表界面の多次元電子状態解析

〇永村 直佳^1,2 (1.物材機構、2.JST さきがけ)

キーワード：分光、オペランド、イメージング

輝度や指向性に優れ、幅広い波長が使える放射光X線をプローブに使ったX線イメージングでは超高分解能(時間・空間・エネルギー)の非破壊計測が可能である。我々は走査型光電子顕微分光装置”3D nano-ESCA”に電圧印加機構を付与したオペランドX線イメージングシステムを開発し、動作中での半導体デバイス微細構造や触媒・電池機能性ナノ構造体の解析に取り組んでいる。本講演では装置詳細と応用例(有機FET他)を紹介する。