[19p-C213-1~18] 11.1 基礎物性

[19p-C213-9] 【注目講演】集束イオンビームを用いた超伝導回路のマスクレス描画

〇松本 凌^1,2、E. S. Sadki³、青戸 淳之介⁴、山本 紗矢香^1,2、齋藤 嘉人^1,2、足立 伸太郎¹、田中 博美⁴、竹屋 浩幸¹、高野 義彦^1,2 (1.物材機構、2.筑波大、3.UAE大、4.米子高専)

キーワード：超伝導、集束イオンビーム、気相成長