[19p-C309-1~16] 13.6 Nanostructures, quantum phenomena, and nano quantum devices

[19p-C309-14] Nonlinear regime vibration and mode coupling in doubly clamped MEMS beam resonators

〇Ryoka Kondo¹, Boqi Qiu¹, Ya Zhang², Naomi Nagai¹, Kazuyuki Kuroyama¹, Kazuhiko Hirakawa¹ (1.IIS Univ of Tokyo, 2.TUAT)

Keywords:MEMS resonator, THz detector, Mode coupling

我々は、MEMS両持ち梁共振器構造を用いたテラヘルツ（THz）ボロメータを提案し、研究
を行っている。MEMS梁にTHz電磁波が入射し、吸収されたときの梁部の温度上昇が、梁
の熱膨張を誘起するため、梁の共振周波数の変化でTHz電磁波のパワーを読み取ることが
できる。
本発表では、MEMS梁を大振幅駆動したときのモード間結合効果によって、モード間結合
がない状態と比べて、熱感度が30倍程上昇していることが確認できたため、これを報告す
る。