[19p-C309-1~16] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[19p-C309-14] MEMS両持ち梁共振器構造の非線形領域振動とモードカップリング

〇近藤 諒佳¹、邱 博奇¹、張 亜²、長井 奈緒美¹、黒山 和幸¹、平川 一彦¹ (1.東大生研、2.東京農工大)

キーワード：MEMS共振器、テラヘルツ検出器、モード間結合

我々は、MEMS両持ち梁共振器構造を用いたテラヘルツ（THz）ボロメータを提案し、研究
を行っている。MEMS梁にTHz電磁波が入射し、吸収されたときの梁部の温度上昇が、梁
の熱膨張を誘起するため、梁の共振周波数の変化でTHz電磁波のパワーを読み取ることが
できる。
本発表では、MEMS梁を大振幅駆動したときのモード間結合効果によって、モード間結合
がない状態と比べて、熱感度が30倍程上昇していることが確認できたため、これを報告す
る。