[19p-C309-1~16] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[19p-C309-16] ナノ粒子を閉じ込めたSiロールの形成と形状制御

〇(M1C)王 鶴¹、林 仲秋¹、青山 直樹¹、鈴木 俊明¹、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1.東電大工)

キーワード：Siロール、ナノ粒子、陽極酸化

我々が従来から開発した、Siマイクロ・ナノロール構造体は、その形状から量子特性を有するナノ粒子の捕獲及び定着化、生体内での液体物質のための輸送管など、従来にない機能を有する構造体として期待できる。今回は、このSiロールを形成するウェーハ上の位置の特定と同時に粒子の閉じ込め方法について検討した。その結果、Siウェーハ上の特定の位置にナノ粒子を閉じ込めたSiロールを作製することに成功した。