The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

Presentation information

Oral presentation

12 Organic Molecules and Bioelectronics » 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[19p-E202-1~10] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

Thu. Sep 19, 2019 4:00 PM - 6:45 PM E202 (E202)

Shigeyasu Uno(Ritsumeikan Univ.), Hiroaki Takehara(Univ. of Tokyo)

4:30 PM - 4:45 PM

[19p-E202-3] Substrate structure optimization for high spatial resolution ion imaging with electron beam excitation

Kiyohisa Nii1, Wataru Inami2, Yoshimasa Kawata1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.RIE Shizuoka Univ.)

Keywords:semiconductor, bio-sensor, ion-imaging

我々は電子線励起による,高空間分解能イオンイメージングシステムを開発してきた.本システムの特徴は細胞の局所的なイオン分布や,イオンの授受を高い空間分解能で観察できることである.本システムではイオンイメージングに半導体センサ基板と収束電子線を用いる.収束電子線を用いることで,高い空間分解能を実現する.今回は,ウインドウ構造の基板を作製した結果について報告する.