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[19p-E206-2] [講演奨励賞受賞記念講演] 50~64 Gbps Siフォトニック結晶光変調器の開発
キーワード:光変調器、フォトニック結晶、シリコンフォトニクス
データセンタ内の400G Ethernetに向けた,高速なSi光変調器の開発が急務になっている.我々はフォトニック結晶導波路が生み出すスローライトを利用した小型Si光変調器を研究してきた.これまではスローライトとRF信号の位相不整合のために周波数応答が制限されるという課題があった.これを抑制するため,本研究ではメアンダライン電極を導入し,50~64 Gbpsの高速動作を得た.本講演ではこれらの研究を概観し,最新の成果を報告する.