[19p-E206-1~19] 3.15 シリコンフォトニクス

[19p-E206-6] 進行波電極構造を利用した1.3μm波長帯高速Si光変調器の検討

〇藤方 潤一¹、野口 将高¹、中村 隆宏¹ (1.PETRA)

キーワード：Si光変調器、進行波電極、自由キャリアプラズマ効果

1.3 μm波長帯において設計したSi-PN型変調器にT型スローウェーブ電極およびスロットモード電極を適用することにより，V_πL = 1.22 V･cmの高効率動作と1.0～4.25 mmの位相シフタ長において56 Gbpsの高速動作を実証した．