[19p-E206-1~19] 3.15 シリコンフォトニクス

[19p-E206-8] マッハツェンダ変調器と半導体光増幅器のSi上集積

〇開 達郎^1,2、相原 卓磨¹、藤井 拓郎^1,2、武田 浩司^1,2、硴塚 孝明^1,2、土澤 泰^1,2、松尾 慎治^1,2 (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTTナノフォトニクスセンタ)

キーワード：マッハツェンダ変調器