[19p-E214-1~12] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [19p-E214-3] 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の近接場放射熱伝達の測定

〇霜降 真希¹、平井 義和¹、土屋 智由¹、田畑 修¹ (1.京都大工)

キーワード：近接場放射伝達、ナノギャップ、熱電子発電

本研究では対向面が平滑で間隔が一様なナノギャップの作製及び，ギャップ間の近接場放射伝達の測定を目標としている．実験では単結晶シリコン梁のへき開により創製した間隔53nm，対向面積21.5µm²を有するナノギャップの間隔を静電アクチュエータにより狭めながら，一端を加熱し，両端の温度を顕微ラマン分光法により測定した．観測された熱輸送は理論計算に比べ著しく小さかった．