[19p-E305-1~15] 13.3 絶縁膜技術

[19p-E305-10] High-k/GeO₂/Geの作製と評価

〇豊田 健一郎¹、渡邊 龍一郎¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大院工)

キーワード：半導体