[19p-E305-1~15] 13.3 絶縁膜技術

[19p-E305-9] Kr/O₂プラズマ酸化法を用いたAl₂O₃/GeO₂/Ge構造の作製

〇(M2)所附 武志¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：ゲルマニウム