4:30 PM - 4:45 PM
△ [19p-E307-12] Flexible thermoelectric p- and n-type Si1-xGex formed by Zn-induced layer exchange
Keywords:Flexible thermoelectric, Silicon germanium, Zn-induced layer exchange
SiGe混晶は宇宙用の熱電変換素子として高い実績を持つ.我々はAl誘起層交換を用いることで,高性能化と低温プロセスを両立しプラスチック上で最高水準の p型SiGe熱電薄膜を合成した.一方 Alがアクセプタとして働くことからn型SiGe膜の合成は困難であった.今回,Zn誘起層交換を検討するとともにp型/n型SiGe膜の低温合成と優れた熱電性能を実証したので報告する.