[19p-E308-1~13] 17.3 層状物質

[19p-E308-4] ミストCVDによって作製した硫化スズ(SnS_x)薄膜に対する硫黄前駆体が与える影響の検討

〇(DC)佐藤 翔太¹、刘 丽^1,2,3、鄧 太 江^1,2,3、川原村 敏幸^1,2,3 (1.高知工大院基盤工、2.シス工、3.総研)

キーワード：ミストCVD、硫化スズ、層状物質