[19p-E311-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-E311-14] ドロップ蒸発法によって作製したMg(OH)₂透明薄膜

〇(M1)リ トウ¹、市村 正也¹ (1.名工大工)

キーワード：水酸化マグネシウム、薄膜

水酸化マグネシウムMg(OH)₂はその大きなバンドギャップから可視光に対して透明であり、通常は絶縁体と考えられている。本研究では、基板に溶液を少量滴下して下から加熱することで、安易かつ大面積の堆積が可能なドロップ蒸発堆積法によるMg(OH)₂堆積を行い、その後、電流電圧(I-V)測定をはじめとした薄膜の評価を行った。その結果、微小ではあるが導電性を持つ事がわかった。