[19p-E311-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [19p-E311-9] ITO, IZO, AZOを用いたガスバリア膜特性の評価

〇(M1)對馬 圭佑¹、柏木 誠¹、賈 軍軍²、小野 大祐³、松中 繁樹³、重里 有三¹ (1.青学大院、2.早大国際理工学センター、3.芝浦メカトロニクス)

キーワード：透明導電膜、ガスバリア膜

大気中の酸素や水蒸気等に対するガスバリア薄膜は、フレキシブルエレクトロニクス等において重要な役割を果す。特にポリマーフィルムを基板として用いる場合には、素子の劣化を防ぐために極めて低い酸素透過率と水蒸気透過率を持つガスバリア薄膜が必要とされる。本研究では透明導電膜(TCO)を用いて、より簡便で定量的に薄膜のガスバリア特性を評価できる方法を確立した。