[19p-E317-1~20] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[19p-E317-6] リモート水素プラズマ支援による磁性合金FeSiナノドットの高密度・一括形成

〇橋本 靖司¹、牧原 克典¹、大田 晃生¹、池田 弥央¹、宮崎 誠一¹、香野 淳² (1.名大院工、2.福岡大)

キーワード：磁性ナノドット、リモート水素プラズマ、FeSi