[19p-E318-1~10] 7.1 X線技術

[19p-E318-1] 200–900 eV 域対応高回折効率・広受光角ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の製作と評価

〇羽多野 忠¹、小池 雅人²、寺内 正己¹、ピロジコフ アレキサンダー²、林 信和³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.東北大多元研、2.量研量子ビーム、3.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、回折効率、多層膜

表面物質が Au である軟Ｘ線回折格子の回折効率を計測し、その後、Au 表面の上に W/C 多層膜を付加し、再び回折効率を計測した。Fe L 発光の705 eVにおいて数値計算での最大値 10.7% の 66% に相当する 7.09 %の実測値が得られた。またFe L 発光を含む広い領域での回折効率向上が確認できた。