[19p-PA2-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-PA2-4] 超短パルスレーザーのための環状ビーム変換器とその出力特性

〇(M2)齋藤 諒¹、宮地 悟代¹ (1.東京農工大)

キーワード：環状ビーム、数サイクルパルスレーザー、レーザーナノ加工

数fsパルスによる加工では、パルス幅の伸長によるピーク強度の低下を避けるため、反射対物鏡を用いて集光する。本研究では、チャープミラー、凹アキシコンミラー、1/4波長板、薄膜偏光子からなる環状ビーム変換器を構築し、出力光のパルス幅とビーム強度分布を測定した。その結果、パルス幅15.1 fsの環状ビームを出力できた。これは反射対物鏡の挿入損失を避け、高いピーク強度で加工できることを示唆している。