[19p-PA2-1~9] 3.7 レーザープロセシング

△ [19p-PA2-5] フェムト秒レーザパルス誘起多光子吸収を利用したグリオキシル酸金属錯体の還元直接描画

〇今北 智之¹、植月 暁²、大石 知司²、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大、2.芝浦工大)

キーワード：直接描画、グリオキシル酸金属錯体、還元

フェムト秒レーザ多光子還元が誘起する光熱還元を利用し，グリオキシル酸Sn（GASn）及びグリオキシル酸Co（GACo）からSn及びCoパターンを大気中でガラス基板上に描画した．GASn及びGACo錯体はともに波長515 nmで高い透過率を有し，その半波長で大きな吸収を示した．そこで，グリーンフェムト秒レーザ（波長515 mm）を用いた多光子還元描画を行い，パターンのEDS解析を行ったところ，酸化物の少ないSn及びCo金属パターンを描画形成できた．