[19p-PA3-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-PA3-5] 印刷成膜用強誘電体微小粒子に関する研究

〇山崎 美沙¹、山口 正樹^1,2 (1.芝浦工大院理工、2.芝浦工大RCGI)

キーワード：強誘電体、インクジェット印刷法

強誘電体薄膜の直接パターニングを実現する手法として，我々は印刷法を提案している．本報告では，塗布液に利用する切頂六面体微粒子の合成について述べる．