[19p-PA3-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-PA3-6] 酸素スプレー法を用いた反応性スパッタリングによるBa(Zr_1-xTi_x)O₃膜の作製

〇牧野 碧¹、篠原 崇之¹、砂岡 裕基¹、西田 謙¹ (1.防衛大通信工)

キーワード：チタン酸ジルコン酸バリウム