[19p-PA4-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[19p-PA4-3] Development of techniques combining APT and STM Ⅲ

〇(M2)Takumi Umemura¹, Shu Kurokawa¹ (1.Kyoto Univ.Eng)

Keywords:Scanning Tunneling Microscopy, Atom Probe Tomography

我々は三次元アトムプローブ(APT)測定後の試料表面を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察する手法の開発を行っている．両者を組み合わせることで，より広範な試料のSTM観察が期待されるだけではなく，STMによるAPT試料形状の観察結果は，APTデータの解析の際に使用できる可能性がある．また，STMの新たな試料作製方法としてAPTの電界蒸発の利用についても考察する．