[19p-PA5-1~12] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-PA5-3] 光学顕微鏡マイクロマニピュレーション法による大面積三次元フォトニック結晶の作製及び光学評価

〇(M2)有光 佑紀哉¹、高橋 駿¹、山下 兼一¹、渡邊 克之²、岩本 敏^2,3、荒川 泰彦² (1.京工繊大、2.東大ナノ量子機構、3.東大先端研/生研)

キーワード：フォトニック結晶

三次元フォトニック結晶（3D PC）は、いかなる方向への光伝搬を禁止する完全フォトニックバンドギャップを有し、3D光回路や低閾値レーザへの応用が期待されている。高品質な3D PCの作製手法のひとつにマイクロマニピュレーション法が挙げられるが、走査電子顕微鏡観察下で行われるため、照射する電子による内部発光体の劣化の問題がある。そこで、光学顕微鏡観察下でのマイクロマニピュレーション法を開発し、3D PCの作製に成功した。