[19p-PA6-1~28] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-PA6-11] ITO薄膜上の回折格子を用いた表面プラズモン共鳴

〇岩切 亮太郎¹、加門 政人¹、蓮池 紀幸¹、武田 実¹、一色 俊之¹ (1.京都工繊大工芸)

キーワード：表面プラズモン共鳴、インジウムスズ酸化物

半導体材料をベースとした表面プラズモン共鳴(SPR)材料は周期構造とキャリア密度の2つのパラメータでSPR周波数を制御することができる。そこで我々は近赤外領域においてSPRを励起させる材料として導電性酸化物材料であるSnドープIn₂O₃(ITO)薄膜を提案する。本実験ではITO薄膜表面上に回折格子構造を形成することによってSPR励起を試み、格子ピッチとSPR波長の相関関係を考察した。