[19p-PA6-1~28] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-PA6-9] 低光損失な単結晶銀および金薄膜の光学特性

〇山口 堅三¹、森 智博²、富成 征弘³、大友 明³ (1.徳島大pLED、2.和歌山工技セ、3.情通機構)

キーワード：単結晶薄膜、表面プラズモン、分光エリプソメトリー

多結晶金属薄膜の結晶粒界を代表する内部欠陥が、薄膜の加工精度や表面プラズモンの光特性に大きく影響する。そこで、ヘテロエピタキシャル成長に注目し、塩の単結晶基板上に成膜した単結晶銀薄膜の基板を水に溶解させ、異種基板へ転写可能な成膜法を確立した。本研究では、薄膜の光学性能を明らかにするために、分光エリプソメトリーを用いた単結晶銀薄膜の光学定数を決定した。一方で、金の単結晶薄膜の成膜法を新たに確立した。