[19p-PA7-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[19p-PA7-2] 塩素含有シリカガラスの失透抑制メカニズム

〇堀井 直宏¹、葛生 伸²、堀越 秀春³ (1.福井高専、2.福井大学、3.東ソーSGM)

キーワード：失透、結晶化、シリカガラス

塩素を含有するシリカガラスが，内部への失透浸食を抑制する効果を有することを報告してきたが，その抑制機構については未だ明確になっていなかった．本報では，塩素を含有するシリカガラスの失透抑制効果のメカニズムについて，これまで得られたデータについて解析を行い，いくつかのモデルを示しながら，失透抑制機構について報告する．