[19p-PA7-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[19p-PA7-4] 金属ナノ粒子を用いた固体ナノポアの作製とサイズ制御

〇立溝 優羽¹、内藤 宗幸¹ (1.甲南大理工)

キーワード：ナノポア、金属ナノ粒子、透過電子顕微鏡