[19p-PA7-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[19p-PA7-5] Al₂O₃(0001)基板上に成膜したMn添加ZnO薄膜における臨界膜厚の影響について

〇(M1)山野邉 真里亜¹、玉元 悠里¹、関 蘇軍¹、趙 新為¹ (1.東理大理)

キーワード：薄膜