[19p-PB1-1~34] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [19p-PB1-33] 高精細イオンイメージングのためのイオン拡散防止MEMS構造体の製作

〇(M1)川上 千夏¹、魚返 勇太¹、飛沢 健¹、繁富 英治²、篠崎 陽一²、岩田 達也¹、野田 俊彦¹、高橋 一浩¹、小泉 修一²、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大、2.山梨大学)

キーワード：イオンイメージセンサ、pHイメージング、MEMS構造体

本研究室では，海馬などの微小領域における細胞の活動観察を目的として，従来ピッチより約 1/10 倍の大きさである 2µm ピッチのイオンイメージセンサの開発が行われてきた．しかしながら，イオンが溶液中を拡散することによる画素間のクロストークが空間解像度を低下させることが問題であった．本研究では，センサ上に拡散防止構造を一体化させることでクロストークを抑制し，海馬などの生体細胞の微小領域の観察をすることを目的とする．