13:30 〜 15:30 △ [19p-PB1-33] 高精細イオンイメージングのためのイオン拡散防止MEMS構造体の製作 〇(M1)川上 千夏1、魚返 勇太1、飛沢 健1、繁富 英治2、篠崎 陽一2、岩田 達也1、野田 俊彦1、高橋 一浩1、小泉 修一2、澤田 和明1 (1.豊橋技科大、2.山梨大学)