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[19p-PB10-12] Preparation of Cu2GeS3 thin films by co-evaporation method
Keywords:solar cells, sulfide, thin films
Cu2GeS3(CGS)薄膜太陽電池に着目し、適した組成を持ち均一で緻密な薄膜の作製を目指し、同時蒸着法を用いてガラス/Mo基板上へのCGS系薄膜の作製を試みた。CuとGeの蒸発源温度を変化させることでCu/Ge組成比を変化させ、その表面形態について調べた。結果として、Geセルの温度の上昇に伴いCu/Ge比が減少した。Cu/Ge組成比に応じて異なる表面形態が観察されたが、いずれも緻密な薄膜が得られた。