[19p-PB3-1~24] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[19p-PB3-2] β-Ga₂O₃ドライエッチングにおけるドープ種の影響

〇(M1)森山 裕貴¹、新海 聡子² (1.九工大院、2.九工大マイクロ化)

キーワード：酸化ガリウム